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锥形接口规划:

原理:经过上下坩埚的锥形接口彼此嵌合,使用锥面的自锁效应完成密封。当坩埚受热胀大时,锥形接口的接触压力增大,密封效果更佳。

应用:常用于需求频频开合的坩埚体系,如高温熔炼或化学气相沉积(CVD)设备。
法兰衔接密封:

原理:在坩埚口部设置法兰,经过螺栓将上下法兰压紧,中心夹持密封垫片(如石墨纸、金属垫片或陶瓷纤维垫片)完成密封。

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特点:密封压力大,适用于高压或高温环境,但需定时检查螺栓紧固力矩以防止松动。

螺纹密封:

原理:在坩埚口部加工外螺纹或内螺纹,经过螺纹的旋合完成密封。螺纹空隙可填充耐高温密封胶(如硅酸盐基或氧化铝基胶)以增强密封性。

应用:适用于小型坩埚或需求快速拆装的场景。

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